step and scan projection aligner

中文翻译步进扫描投影对准曝光器

同义词释义

1)step and scan projection aligner,步进扫描投影对准曝光器

2)scanning projection aligner,扫描型投影对准曝光器

3)stepping projection aligner,步进式投影对准曝光器

4)projection aligner,投影对准曝光器

5)scanning projection printing,扫描式投影曝光

6)step-and-scan lithography,步进扫描投影光刻

Exposure dose control for step-and-scan lithography;

步进扫描投影光刻机中的曝光剂量控制技术研究